l 检出限（MDL）：检出限被定义为一种物质的最小浓度，该物质在99%的可靠程度（分析物含量高于0）内从样品中被检出和记录。也可以在给定的矩阵模型条件下，从样品中检测出。需注意的是："正如威廉·霍维茨博士曾经表示，在所有的检测处理过程中都会有检出限或者检测限，检测限的最初目的就是要远离它。"

l 精确度：精确度是可接受的或者真实值的近似测量。精确度可用一个范围来表示，是指与真实值之间的误差（如±0.5ppm）。也可表示为已知分析物回收率%的分析检测（如103.5%）。

l 分辨率：分辨率是指任何两个测量值之间的最小可分辨差异。对于仪器来说，一般用小数点来表示（如0.01）。需注意的是分辨率可能会随着浓度和量程进行变化。一些案例中，分辨率会小于最小间隔，如果可能的话，读数会比校准表上的数值小。注意，分辨率与准确度和精确度有一点关系。分辨率总是小于准确度和精确度，但是它不是很好的分析统计测量的方法。分辨率很好时，准确度和精确度会很差.依据检测方法上的性能测试，它不是一个有用的方式。

l 可重复性：为批内精确度。一批指单一数据集，从设置到清除。一般来说，一批应在一天内完成。然而，对于仪器校准，单一的校准可看作为一批或者一套的校准值，甚至还可以在2或者3天内完成。

l 可再现性：指的是批间精确度。

l 检测极限：定义为仪器检测的最小数值和浓度，它肯定高于0，或者为独立矩阵，玻璃器皿，以及和其他样品处理的错误来源。仪器光学系统就是检测极限。